Effect of deposition temperature on surface acoustic wave velocity of aluminum nitride films determined by Brillouin spectroscopy
3 pages, 4 figures.-- PACS: 78.35.+c; 68.35.Iv; 78.66.Fd
| Autores: | , , , |
|---|---|
| Tipo de recurso: | artículo |
| Fecha de publicación: | 2005 |
| País: | España |
| Institución: | Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC) |
| Repositorio: | DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC |
| OAI Identifier: | oai:digital.csic.es:10261/21736 |
| Acceso en línea: | http://hdl.handle.net/10261/21736 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Aluminium compounds III-V semiconductors Wide band gap semiconductors Brillouin spectra Surface acoustic waves |
| Sumario: | 3 pages, 4 figures.-- PACS: 78.35.+c; 68.35.Iv; 78.66.Fd |
|---|