La Metrología Óptica y sus Aplicaciones
In this work an introduction to optical metrology is presented with a brief description of its main tool which is interferometry. Also, a survey of the main different methods used in optical metrology is described with a special emphasis on the most recent developments.
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| Fecha de publicación: | 2005 |
| País: | México |
| Recursos: | UNIVERSIDAD DE GUANAJUATO |
| Repositorio: | Acta Universitaria |
| Idioma: | español |
| OAI Identifier: | oai:www.actauniversitaria.ugto.mx:article/218 |
| Acesso em linha: | https://www.actauniversitaria.ugto.mx/index.php/acta/article/view/218 |
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| Palavra-chave: | Metrología óptica Interferometría. Optical metrology Interferometry. |
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La Metrología Óptica y sus AplicacionesLa Metrología Óptica y sus AplicacionesMalacara Hernández, DanielMetrología ópticaInterferometría.Optical metrologyInterferometry.In this work an introduction to optical metrology is presented with a brief description of its main tool which is interferometry. Also, a survey of the main different methods used in optical metrology is described with a special emphasis on the most recent developments. En este trabajo se presenta una introducción al campo de la metrología óptica y de su herramienta principal que es la interferometría. También se presenta un panorama de los diferentes métodos empleados en metrología describiendo con especial detalle los avances más recientes en este campo. Universidad de Guanajuato2005-04-01info:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionResearchArtículo revisado por paresInvestigaciónapplication/pdfhttps://www.actauniversitaria.ugto.mx/index.php/acta/article/view/21810.15174/au.2005.218Acta Universitaria; Vol. 15 Núm. 1 (2005); 5-12Acta Universitaria; Vol. 15 No. 1 (2005); 5-122007-96210188-6266reponame:Acta Universitariainstname:UNIVERSIDAD DE GUANAJUATOinstacron:UGTOspahttps://www.actauniversitaria.ugto.mx/index.php/acta/article/view/218/196info:eu-repo/semantics/openAccessoai:www.actauniversitaria.ugto.mx:article/2182024-08-16T21:06:28Z |
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