Desenvolupament d'algorismes numérics per al càlcul de la topografia dels miralls per a un sincrotró

La mesura de superfícies òptiques ha esdevingut un camp d'investigació molt important en els últims anys. En els sincrotrons es necessiten òptiques que tinguin una precisió en l'ordre del nanòmetre per tal d'assolir la brillantor necessària en les investigacions. Normalment es fan ser...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autor: Vidal González, Josep
Tipo de recurso: tesis doctoral
Fecha de publicación:2015
País:España
Institución:Universitat Autònoma de Barcelona
Repositorio:Dipòsit Digital de Documents de la UAB
Idioma:catalán
OAI Identifier:oai:ddd.uab.cat:128972
Acceso en línea:https://ddd.uab.cat/record/128972
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Metrologia
Metrología
Metrology
Sincrotó
Sincrotón
Synchrotron
Interferometria
Interferometría
Interferometry
Descripción
Sumario:La mesura de superfícies òptiques ha esdevingut un camp d'investigació molt important en els últims anys. En els sincrotrons es necessiten òptiques que tinguin una precisió en l'ordre del nanòmetre per tal d'assolir la brillantor necessària en les investigacions. Normalment es fan servir dos mètodes per tal de mesurar aquests miralls: interferometria i de ectometria. Els desavantatges de la interferometria és que la precisió ve determinada per la precisió de la superfície de referència. El desavantatge de la de ectometria és que les mesures són unidimensionals. En aquesta tesi es presenta un nou mètode, el lateral shearing seqüencial bidimensional, que agrupa les avantatges dels dos mètodes: no es necessita superfície de referència i les mesures són bidimensionals i ràpides. En aquesta tesi es presenta el nou mètode tan a nivell teòric així com en un escenari realista. Inicialment es fa un desenvolupament teòric, per després anar afegint diferents fonts d'error, com el soroll a les mesures, l'error de posicionament i els errors de guiatge pitch i roll. Es fa un anàlisi de la infl uència d'aquestes fonts d'error i es determina que és necessari un mètode per a l'estimació de pitch i roll. Per això en aquesta tesi es presenta un nou mètode per a l'estimació de pitch i roll basat en la sobre informació que es té de la mesura. Amb aquest mètode es redueixen significativament els errors, però es necessita també afegir informació dels termes quadràtics de la superfície mesurada per tal d'arribar a la precisió demandada. Per aquest motiu es desenvolupa un nou mètode per a lestimació dels termes quadràtics de la superfície a mesurar a partir del 3- at test. Amb l'estimació del 3- at test, l'estimació de pitch i roll i l'aplicació del lateral shearing seqüencial bidimensional, s'arriba a una precisió en l'ordre del nanòmetre en la reconstrucció de la superfície a mesurar.