Metrología óptica dimensional submicrométrica para determinación de espesores en sub-micro estructuras

Detalles Bibliográficos
Autores:	Casquel del Campo, Rafael\|\|\|0000-0003-2433-9159, Holgado Bolaños, Miguel\|\|\|0000-0001-9299-1371, Molpeceres Álvarez, Carlos Luis\|\|\|0000-0002-6236-8359, Morales Furió, Miguel\|\|\|0000-0001-7425-9742, Sanchez Perez, Angel M., Ocaña Moreno, José Luis\|\|\|0000-0001-9263-8404
Tipo de recurso:	artículo
Fecha de publicación:	2008
País:	España
Institución:	Universidad Politécnica de Madrid
Repositorio:	Archivo Digital UPM
OAI Identifier:	oai:oa.upm.es:2331
Acceso en línea:	https://oa.upm.es/2331/
Access Level:	acceso abierto
Palabra clave:	Metrología óptica dimensional Microfabricación Reflectometría-Dimensional Optical Metrology Microfabrication Reflectometry.

Descripción
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