Order quantification of hexagonal periodic arrays fabricated by in situ solvent-assisted nanoimprint lithography of block copolymers
arXiv:1403.2250v1
| Autores: | , , , , , , |
|---|---|
| Tipo de recurso: | artículo |
| Estado: | Versión enviada para evaluación y publicación |
| Fecha de publicación: | 2014 |
| País: | España |
| Institución: | Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC) |
| Repositorio: | DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC |
| OAI Identifier: | oai:digital.csic.es:10261/127150 |
| Acceso en línea: | http://hdl.handle.net/10261/127150 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Nanoimprint lithography GISAXS Nanometrology Block copolymers Directed self-assembly |
| Sumario: | arXiv:1403.2250v1 |
|---|