Order quantification of hexagonal periodic arrays fabricated by in situ solvent-assisted nanoimprint lithography of block copolymers

arXiv:1403.2250v1

Detalhes bibliográficos
Autores: Simao, Claudia, Khunsin, W., Kehagias, N., Salaun, Mathieu, Zelsmann, Marc, Morris, Michael A., Sotomayor Torres, C. M.
Formato: artículo
Estado:Versión enviada para evaluación y publicación
Fecha de publicación:2014
País:España
Recursos:Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Repositorio:DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC
OAI Identifier:oai:digital.csic.es:10261/127150
Acesso em linha:http://hdl.handle.net/10261/127150
Access Level:acceso abierto
Palavra-chave:Nanoimprint lithography
GISAXS
Nanometrology
Block copolymers
Directed self-assembly
Descrição
Resumo:arXiv:1403.2250v1