Simulation of p-n junctions: Present and future challenges for technologies beyond 32 nm

Producción Científica

Detalles Bibliográficos
Autores: Pelaz Montes, María Lourdes, Marqués Cuesta, Luis Alberto, Aboy Cebrián, María, Santos Tejido, Iván, López Martín, Pedro, Duffy, Ray
Tipo de recurso: artículo
Fecha de publicación:2010
País:España
Institución:Universidad de Valladolid
Repositorio:UVaDOC. Repositorio Documental de la Universidad de Valladolid
OAI Identifier:oai:uvadoc.uva.es:10324/31964
Acceso en línea:https://doi.org/10.1116/1.3231481
http://uvadoc.uva.es/handle/10324/31964
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Implantación de iones
Ion implantation
Descripción
Sumario:Producción Científica