Cryo-focused ion beam-induced deposition of tungsten–carbon nanostructures using a thermoelectric plate

This article belongs to the Special Issue Nanoscale Assembly and Integration for Applications.

Detalles Bibliográficos
Autores:	Orús, Pablo, Sigloch, Fabian, Sangiao, Soraya, Teresa, José María de
Tipo de recurso:	artículo
Estado:	Versión publicada
Fecha de publicación:	2021
País:	España
Institución:	Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Repositorio:	DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC
OAI Identifier:	oai:digital.csic.es:10261/265591
Acceso en línea:	http://hdl.handle.net/10261/265591 https://doi.org/10.3390/app112110123
Access Level:	acceso abierto
Palabra clave:	Focused ion beam Cryogenic nanolithography Nanofabrication Tungsten–carbon nanostructures Direct-write growth

Descripción
Sumario:	This article belongs to the Special Issue Nanoscale Assembly and Integration for Applications.