Evidencia de la Regla Meyer-Neldel y su Relacion con las Propiedades de Transporte en Películas Delgadas de mc-Si
En este trabajo se presenta un estudio de la dependencia de la conductividad a oscuras con la temperatura en muestras de silicio microcristalino dopadas con Boro [mc-Si:H (B)]. Las muestras fueron depositadas por la técnica de deposición química en fase de vapor asistida por plasma (PECVD). Una seri...
| Authors: | , , |
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| Format: | article |
| Status: | Published version |
| Publication Date: | 2009 |
| Country: | Argentina |
| Institution: | Consejo Nacional de Investigaciones Científicas y Técnicas |
| Repository: | CONICET Digital (CONICET) |
| Language: | Spanish |
| OAI Identifier: | oai:ri.conicet.gov.ar:11336/17103 |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/11336/17103 |
| Access Level: | Open access |
| Keyword: | Conductividad Silicio Policristalino Pelicula Delgada https://purl.org/becyt/ford/1.3 https://purl.org/becyt/ford/1 |
| Summary: | En este trabajo se presenta un estudio de la dependencia de la conductividad a oscuras con la temperatura en muestras de silicio microcristalino dopadas con Boro [mc-Si:H (B)]. Las muestras fueron depositadas por la técnica de deposición química en fase de vapor asistida por plasma (PECVD). Una serie de seis muestras fueron depositas sobre vidrio Corning 7059 variando la concentración de Boro de 0 a 100 ppm. Se calcula, a partir del gráfico de Arrhenius, las energías de activación en la región de altas temperaturas. Se observa que el conjunto de muestras, variando su composición, exhibe un comportamiento Meyer- Neldel (MNR) y se obtienen los valores del pre-factor exponencial MN (KBTMN) y la energía característica MN (EMN). Se realiza un estudio de las propiedades de transporte que rige este material y se establece una relación con la MNR evidenciada en las muestras. |
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