Síntesis y caracterización de películas delgadas de SnO2 depositadas por RPU
Películas delgadas de óxido de estaño (SnO2), fueron depositadas mediante la técnica de RPU. Las películas se prepararon empleando [(C5H8O2)2SnCl2], como material fuente, y N, N-DMF como solvente. Las películas se depositaron sobre substratos de vidrio a temperaturas de 400 a 550 ºC. El efecto de la...
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| Tipo de recurso: | artículo |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2008 |
| País: | México |
| Institución: | Instituto Politécnico Nacional |
| Repositorio: | Repositorio Digital del IPN |
| OAI Identifier: | oai:www.repositoriodigital.ipn.mx:123456789/10974 |
| Acceso en línea: | http://hdl.handle.net/123456789/495 http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10974 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Oxido de estaño peliculas delgadas |
| Sumario: | Películas delgadas de óxido de estaño (SnO2), fueron depositadas mediante la técnica de RPU. Las películas se prepararon empleando [(C5H8O2)2SnCl2], como material fuente, y N, N-DMF como solvente. Las películas se depositaron sobre substratos de vidrio a temperaturas de 400 a 550 ºC. El efecto de la adición de agua en paralelo durante el depósito fue estudiado en relación con las propiedades de las películas. Las películas obtenidas tienen una calidad óptica, estructural y eléctrica comparable a la que se obtiene usando otros métodos de depósito y otros materiales fuente. |
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