Síntesis y estudio de las propiedades eléctricas, ópticas y estructurales de películas delgadas de SnO2:Sb depositadas por rocío pirolítico ultrasónico
En este trabajo de investigación se presentan resultados de la fabricación y caracterización de películas delgadas de óxido de estaño (SnO2), dopado con antimonio (Sb). Las películas fueron depositadas por medio de la técnica de rocío pirolítico ultrasónico sobre substratos de vidrio empleando diclo...
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| Tipo de recurso: | artículo |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2009 |
| País: | México |
| Institución: | Instituto Politécnico Nacional |
| Repositorio: | Repositorio Digital del IPN |
| OAI Identifier: | oai:www.repositoriodigital.ipn.mx:123456789/11655 |
| Acceso en línea: | http://hdl.handle.net/123456789/1176 http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/11655 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Oxido de estaño |
| Sumario: | En este trabajo de investigación se presentan resultados de la fabricación y caracterización de películas delgadas de óxido de estaño (SnO2), dopado con antimonio (Sb). Las películas fueron depositadas por medio de la técnica de rocío pirolítico ultrasónico sobre substratos de vidrio empleando dicloruro de acetilacetonato de estaño, [(C5H8O2)2SnCl2], y cloruro de antimonio, [SbCl3], como fuentes de estaño y antimonio, respectivamente. Como solvente se empleó la N,N-DMF. Las películas fueron depositadas en un rango de temperaturas de 400 a 550 ºC, en pasos de 50 ºC. |
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