Metrología óptica dimensional submicrométrica para determinación de espesores en sub-micro estructuras

Detalhes bibliográficos
Autores: Casquel del Campo, Rafael|||0000-0003-2433-9159, Holgado Bolaños, Miguel|||0000-0001-9299-1371, Molpeceres Álvarez, Carlos Luis|||0000-0002-6236-8359, Morales Furió, Miguel|||0000-0001-7425-9742, Sanchez Perez, Angel M., Ocaña Moreno, José Luis|||0000-0001-9263-8404
Tipo de documento: artigo
Data de publicação:2008
País:España
Recursos:Universidad Politécnica de Madrid
Repositório:Archivo Digital UPM
OAI Identifier:oai:oa.upm.es:2331
Acesso em linha:https://oa.upm.es/2331/
Access Level:Acceso aberto
Palavra-chave:Metrología óptica dimensional
Microfabricación
Reflectometría-Dimensional Optical Metrology
Microfabrication
Reflectometry.
Descrição
Descrição não disponível.

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