Butt coupled microcantilever in sensing applications

14 páginas, 9 figuras.-- Trabajo presentado en la conferencia "MEMS, MOEMS, and Micromachining II"; 3-Abril-2006; Strasbourg, France; Editores: Hakan Ürey, Ayman El-Fatatry.

Detalles Bibliográficos
Autores: Zinoviev, Kirill, Plaza, José Antonio, Cadarso Busto, Víctor Javier, Lechuga, Laura M., Domínguez Horna, Carlos
Tipo de recurso: artículo
Fecha de publicación:2006
País:España
Institución:Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Repositorio:DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC
OAI Identifier:oai:digital.csic.es:10261/27972
Acceso en línea:http://hdl.handle.net/10261/27972
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Microcantilevers
Butt coupled optical waveguides
Biosensors
Descripción
Sumario:14 páginas, 9 figuras.-- Trabajo presentado en la conferencia "MEMS, MOEMS, and Micromachining II"; 3-Abril-2006; Strasbourg, France; Editores: Hakan Ürey, Ayman El-Fatatry.

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