A novel optical waveguide microcantilever sensor for the detection of nanomechanical forces

7 páginas, 10 figuras.

Detalles Bibliográficos
Autores:	Zinoviev, Kirill, Domínguez Horna, Carlos, Plaza, José Antonio, Cadarso Busto, Víctor Javier, Lechuga, Laura M.
Tipo de recurso:	artículo
Fecha de publicación:	2006
País:	España
Institución:	Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Repositorio:	DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC
OAI Identifier:	oai:digital.csic.es:10261/27929
Acceso en línea:	http://hdl.handle.net/10261/27929
Access Level:	acceso abierto
Palabra clave:	Beam-propagation method Microcantilevers Microoptoelectromechanical system (MOEMS) Optical waveguide Silicon technology

Descripción
Sumario:	7 páginas, 10 figuras.