Amorphization and Ablation of Crystalline Silicon Using Ultrafast Lasers: Dependencies on the Pulse Duration and Irradiation Wavelength

17 pags., 10 figs., 2 tabs.

Detalles Bibliográficos
Autores:	García-Lechuga, Mario, Casquero, Noemi, Siegel, Jan, Solís Céspedes, Javier, Clady, Raphael, Wang, Andong, Utéza, Olivier, Grojo, David
Tipo de recurso:	artículo
Estado:	Versión publicada
Fecha de publicación:	2024
País:	España
Institución:	Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Repositorio:	DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC
OAI Identifier:	oai:digital.csic.es:10261/371625
Acceso en línea:	http://hdl.handle.net/10261/371625 https://api.elsevier.com/content/abstract/scopus_id/85197253274
Access Level:	acceso abierto
Palabra clave:	Femtosecond laser-matter interactions Few-optical-cycle pulses Silicon amorphization Silicon photonics Wavelength tunable lasers

Descripción
Sumario:	17 pags., 10 figs., 2 tabs.