Deep silicon amorphization induced by femtosecond laser pulses up to the mid-infrared

Detalles Bibliográficos
Autores: García Lechuga, Mario, Casquero, Noemí, Wang, Andong, Grojo, David, Siegel, Jan
Tipo de recurso: artículo
Fecha de publicación:2021
País:España
Institución:Universidad Autónoma de Madrid
Repositorio:Biblos-e Archivo. Repositorio Institucional de la UAM
Idioma:inglés
OAI Identifier:oai:repositorio.uam.es:10486/702436
Acceso en línea:http://hdl.handle.net/10486/702436
https://dx.doi.org/10.1002/adom.202100400
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Amorphization
Femtosecond Lasers
Phase Change
Silicon Photonics
Ablation
Spectroscopy
Dependence
Física
Descripción
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