Deep silicon amorphization induced by femtosecond laser pulses up to the mid-infrared
| Autores: | , , , , |
|---|---|
| Formato: | artículo |
| Fecha de publicación: | 2021 |
| País: | España |
| Recursos: | Universidad Autónoma de Madrid |
| Repositorio: | Biblos-e Archivo. Repositorio Institucional de la UAM |
| Idioma: | inglés |
| OAI Identifier: | oai:repositorio.uam.es:10486/702436 |
| Acesso em linha: | http://hdl.handle.net/10486/702436 https://dx.doi.org/10.1002/adom.202100400 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palavra-chave: | Amorphization Femtosecond Lasers Phase Change Silicon Photonics Ablation Spectroscopy Dependence Física |
| Descrição não disponível. |