CMOS-MEMS resonant pressure sensors: optimization and validation through comparative analysis
The final publication is available at Springer via http://dx.doi.org/10.1007/s00542-016-2878-3
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| Tipo de recurso: | artículo |
| Fecha de publicación: | 2017 |
| País: | España |
| Institución: | Universitat Politècnica de Catalunya (UPC) |
| Repositorio: | UPCommons. Portal del coneixement obert de la UPC |
| Idioma: | inglés |
| OAI Identifier: | oai:upcommons.upc.edu:2117/115081 |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/2117/115081 https://dx.doi.org/10.1007/s00542-016-2878-3 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Sensors Microelectromechanical systems CMOS-MEMS Resonant pressure sensor Squeeze film damping Quality factor Knudsen number Perforated plate Optimization Sistemes microelectromecànics Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Instrumentació i mesura::Sensors i actuadors |
| Sumario: | The final publication is available at Springer via http://dx.doi.org/10.1007/s00542-016-2878-3 |
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