Atomistic modeling of ion implantation technologies in silicon
Producción Científica
| Autores: | , , , , |
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| Tipo de recurso: | artículo |
| Fecha de publicación: | 2015 |
| País: | España |
| Institución: | Universidad de Valladolid |
| Repositorio: | UVaDOC. Repositorio Documental de la Universidad de Valladolid |
| OAI Identifier: | oai:uvadoc.uva.es:10324/28015 |
| Acceso en línea: | https://doi.org/10.1016/j.nimb.2014.11.105 http://uvadoc.uva.es/handle/10324/28015 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Atomistic simulation Multi-scale schemes Silicio |
| Sumario: | Producción Científica |
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