Process design for the manufacturing of soft X-ray gratings in single-crystal diamond by high-energy heavy-ion irradiation

Artículo con 9 figuras

Detalhes bibliográficos
Autores: García, G., Martin, M, Ynsa, M. D., Torres-Costa, Vicente, Crespillo, M.L., Tardío, M., Olivares Villegas, José, Bosia, F, Peña-Rodríguez, O., Nicolás, José, Tallarida, Massimo
Formato: artículo
Estado:Versión publicada
Fecha de publicación:2022
País:España
Recursos:Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Repositorio:DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC
OAI Identifier:oai:digital.csic.es:10261/305207
Acesso em linha:http://hdl.handle.net/10261/305207
Access Level:acceso abierto
Descrição
Resumo:Artículo con 9 figuras