Process design for the manufacturing of soft X-ray gratings in single-crystal diamond by high-energy heavy-ion irradiation

The dataset that supports the findings of this study are archived in the Universidad Autónoma de Madrid data repository e‐cienciaDatos in https://doi.org/10.21950/ARZSJ1

Detalles Bibliográficos
Autores: García López, Gastón, Martín Laso, Montserrat, Ynsa Alcalá, María Dolores, Torres Costa, Vicente, Crespillo, M. L., Tardío, M., Olivares, J., Bosia, F., Peña-Rodríguez, O., Nicolas, J., Tallarida, Massimo
Tipo de recurso: artículo
Fecha de publicación:2022
País:España
Institución:Universidad Autónoma de Madrid
Repositorio:Biblos-e Archivo. Repositorio Institucional de la UAM
Idioma:inglés
OAI Identifier:oai:repositorio.uam.es:10486/704957
Acceso en línea:http://hdl.handle.net/10486/704957
https://dx.doi.org/10.1140/epjp/s13360-022-03358-3
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Soft X-ray
Single-Crystal Diamond
Ion
Optical Gratings
lithography
irradiation
Free Electron Lasers
Física
Descripción
Sumario:The dataset that supports the findings of this study are archived in the Universidad Autónoma de Madrid data repository e‐cienciaDatos in https://doi.org/10.21950/ARZSJ1

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