AlN-based solid mounted resonators functionalized with WO3 films for NO detection
| Autores: | , , , , |
|---|---|
| Tipo de recurso: | artículo |
| Fecha de publicación: | 2025 |
| País: | España |
| Institución: | Universidad Politécnica de Madrid |
| Repositorio: | Archivo Digital UPM |
| OAI Identifier: | oai:dnet:archivodigit::6b4b266584660f49da7885c48952465a |
| Acceso en línea: | https://oa.upm.es/96306/ |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | FBAR SMR MEMS gas sensor acoustic reflector high temperature |
| Descripción no disponible. |