AlN-based solid mounted resonators functionalized with WO3 films for NO detection

Detalles Bibliográficos
Autores: Carmona Cejas, José Manuel|||0000-0003-4307-2349, Mirea, Teona|||0000-0003-2324-4895, Olivares Roza, Jimena|||0000-0003-4396-4363, Hervás García, Ricardo|||0000-0001-5106-1477, Clement Lorenzo, Marta|||0000-0003-4956-8206
Tipo de recurso: artículo
Fecha de publicación:2025
País:España
Institución:Universidad Politécnica de Madrid
Repositorio:Archivo Digital UPM
OAI Identifier:oai:dnet:archivodigit::6b4b266584660f49da7885c48952465a
Acceso en línea:https://oa.upm.es/96306/
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:FBAR
SMR
MEMS
gas sensor
acoustic reflector
high temperature
Descripción
Descripción no disponible.