Películas de nitruro de vanadio como recubrimiento anticorrosivo sintetizadas por pulverización catódica reactiva DC a magnetrón
El propósito de este trabajo fue el crecimiento de películas de nitruro de vanadio mediante la técnica pulverización catódica reactiva DC asistida por magnetrón, utilizando acero calidad herramienta (D2) como substratos. El crecimiento de las películas se realizó a diferentes presiones parciales de...
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| Tipo de recurso: | tesis de maestría |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2009 |
| País: | México |
| Institución: | Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada |
| Repositorio: | Repositorio Institucional CICESE |
| Idioma: | español |
| OAI Identifier: | oai:cicese.repositorioinstitucional.mx:1007/1017 |
| Acceso en línea: | http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/1017 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | info:eu-repo/classification/Autor/Nitruro de vanadio,Películas delgadas,Recubrimiento anticorrosivo,Pulverización catódica,Espectroscopía de impedencia electroquímica info:eu-repo/classification/cti/1 info:eu-repo/classification/cti/22 info:eu-repo/classification/cti/2299 |
| Sumario: | El propósito de este trabajo fue el crecimiento de películas de nitruro de vanadio mediante la técnica pulverización catódica reactiva DC asistida por magnetrón, utilizando acero calidad herramienta (D2) como substratos. El crecimiento de las películas se realizó a diferentes presiones parciales de N<sub>2</sub> en un intervalo de 0.2 a 1.0 mTorr. El comportamiento electroquímico de estas películas fue analizado mediante la técnica de espectroscopía de impedancia electroquímica (EIS), utilizando una solución de cloruro de sodio (NaCl) al 5% como electrolito, obteniéndose densidades de corriente de corrosión (i<sub>corr</sub>) para el acero recubierto muy inferiores al acero sin recubrir indicando el fuerte nivel de protección que tiene los recubrimientos o las películas sintetizadas. La determinación de las propiedades mecánicas de las películas antes mencionadas arrojan valores de dureza en un intervalo de 16 a 24 Gpa dependiendo de la presión parcial de nitrógeno durante el crecimiento de la película. Esta característica refleja que estas películas se encuentran en la categoría de recubrimientos duros. La caracterización físico-química de la superficie de los recubrimientos consistió en el análisis de composición elemental por espectroscopía de electrones fotoemitidos (XPS) y espectroscopía de electrones Auger (AES) encontrando vanadio, nitrógeno y carbono. La estructura cristalográfica revela la formación de la fase cúbica VN determinada por difracción de rayos X (XRD). La topografía de los recubrimientos fue observada a través de imágenes de microscopía electrónica de barrido (SEM). |
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