Diseño y Construcción de un Sensor de Gas con Películas Delgadas de Óxidos Metálicos.
En este trabajo se presenta el proceso de diseño y construcción de un sensor de gas basado en películas delgadas de óxidos metálicos. Las labores de investigación, experimentación y desarrollo se llevaron a cabo en los laboratorios del CINVESTAV-IPN Unidad Mérida.Se realizaron estudios de la técnica...
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| Tipo de recurso: | artículo |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2017 |
| País: | México |
| Institución: | Centro de Investigación y de Estudios Avanzados del IPN |
| Repositorio: | Redalyc-CINVESTAV |
| OAI Identifier: | oai:redalyc.org:46754522002 |
| Acceso en línea: | https://www.redalyc.org/articulo.oa?id=46754522002 https://www.redalyc.org/journal/467/46754522002/ https://www.redalyc.org/journal/467/46754522002/html/ https://www.redalyc.org/journal/467/46754522002/46754522002.epub https://www.redalyc.org/journal/467/46754522002/movil |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Ingeniería Sputtering Sensor de gas película delgada óxidos de molibdeno óxido de indio y estaño |
| Sumario: | En este trabajo se presenta el proceso de diseño y construcción de un sensor de gas basado en películas delgadas de óxidos metálicos. Las labores de investigación, experimentación y desarrollo se llevaron a cabo en los laboratorios del CINVESTAV-IPN Unidad Mérida.Se realizaron estudios de la técnica del crecimiento de películas delgadas por sputtering,las caracterizaciones cristalinas de las películas delgadas se implementaronconla s técnicas de difracción de rayos X, microscopía electrónica de barrido y espectroscopiapor dispersión de energía de rayos X. La película sensora se basóen óxidos de molibdeno usando como electrodo una película delgada deóxido de indio y estaño. El rayado en la película sensora se realizó por corteláseren una CNC (Máquinade Control numéricopor computadora)utilizando un algoritmoimplementadoen LabView paratrazar lageometría del patrón, y se comprobó el aislamiento de los electrodos al realizar el rayado, por medio de un análisis de microscopia electrónica de barrido y espectroscopia de energía dispersiva. Se propuso una técnica para la medición de la sensibilidad a la exposición al gas de la película delgada, así como técnicas para el acondicionamiento de la señal que el sensor nos arroja al ser expuesto al gas, las cuales consisten en el método de cuatro puntas con un puente de wheatstone conectado a un amplificador de instrumentación y la medición de la variación de resistencia con un amplificador lock-in. Por último se presenta el CAD del diseño propuesto para el montaje del sensor. |
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