Estudio de la morfología superficial de películas de silicio microcristalino obtenidas mediante el recocido isotérmico de silicio amorfo hidrogenado

Artículo

Bibliographic Details
Author: Rojas López, Marlon
Format: article
Status:Published version
Publication Date:2012
Country:México
Institution:Instituto Politécnico Nacional
Repository:Repositorio Digital del IPN
OAI Identifier:oai:www.repositoriodigital.ipn.mx:123456789/9035
Online Access:http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/9035
Access Level:Open access
Keyword:Silicio amorfo hidrogenado
Description
Summary:Artículo