Estudio de la morfología superficial de películas de silicio microcristalino obtenidas mediante el recocido isotérmico de silicio amorfo hidrogenado

Artículo

Detalles Bibliográficos
Autor: Rojas López, Marlon
Tipo de recurso: artículo
Estado:Versión publicada
Fecha de publicación:2012
País:México
Institución:Instituto Politécnico Nacional
Repositorio:Repositorio Digital del IPN
OAI Identifier:oai:www.repositoriodigital.ipn.mx:123456789/9035
Acceso en línea:http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/9035
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Silicio amorfo hidrogenado
Descripción
Sumario:Artículo