Low-thickness high-quality aluminum nitride films for super high frequency solidly mounted resonators
| Autores: | , , , , |
|---|---|
| Tipo de recurso: | artículo |
| Fecha de publicación: | 2012 |
| País: | España |
| Institución: | Universidad Politécnica de Madrid |
| Repositorio: | Archivo Digital UPM |
| OAI Identifier: | oai:oa.upm.es:15682 |
| Acceso en línea: | https://oa.upm.es/15682/ |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Piezoelectric AlN Crystal quality AC reactive sputtering Two-step deposition High frequency solidly mounted resonator Electromechanical coupling factor Quality factor |
| Descripción no disponible. |