Detection Limits in Nanomechanical Mass Flow Sensing for Nanofluidics With Nanowire Open Channels

Trabajo presentado en la 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), celebrada en Munich (Alemania), del 15 al 19 de enero de 2023.

Detalles Bibliográficos
Autores: Escobar, Javier Enrique, Molina Fernández, Juan, Gil-Santos, Eduardo, Ruz Martínez, José Jaime, Malvar, Óscar, Kosaka, Priscila M., Tamayo de Miguel, Francisco Javier, San Paulo, Álvaro, Calleja, Montserrat
Tipo de recurso: artículo
Estado:Versión aceptada para publicación
Fecha de publicación:2023
País:España
Institución:Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC)
Repositorio:DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC
OAI Identifier:oai:digital.csic.es:10261/311417
Acceso en línea:http://hdl.handle.net/10261/311417
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Semiconductor nanowires
NEMS
Nanomechanical resonators
Nanofluidics
Open fluidics
Ionic liquids
Descripción
Sumario:Trabajo presentado en la 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), celebrada en Munich (Alemania), del 15 al 19 de enero de 2023.