Detection Limits in Nanomechanical Mass Flow Sensing for Nanofluidics With Nanowire Open Channels
Trabajo presentado en la 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), celebrada en Munich (Alemania), del 15 al 19 de enero de 2023.
| Autores: | , , , , , , , , |
|---|---|
| Tipo de recurso: | artículo |
| Estado: | Versión aceptada para publicación |
| Fecha de publicación: | 2023 |
| País: | España |
| Institución: | Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC) |
| Repositorio: | DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC |
| OAI Identifier: | oai:digital.csic.es:10261/311417 |
| Acceso en línea: | http://hdl.handle.net/10261/311417 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Semiconductor nanowires NEMS Nanomechanical resonators Nanofluidics Open fluidics Ionic liquids |
| Sumario: | Trabajo presentado en la 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), celebrada en Munich (Alemania), del 15 al 19 de enero de 2023. |
|---|