Native Oxide Layer Role during Cryogenic-Temperature Ion Implantations in Germanium

Herein, the structural properties and chemical composition of Ge samples implanted with tellurium at cryogenic temperatures are analyzed, focusing on the role of the native oxide. For germanium, cryogenic-temperature implantation is a requirement to achieve hyperdoped impurity concentrations while s...

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Detalles Bibliográficos
Autores: Caudevilla Gutiérrez, Daniel, Pérez Zenteno, Francisco José, Duarte Cano, Sebastián, Algaidy, Sari, Benítez Fernández, Rafael, Godoy Pérez, Guillermo, Olea Ariza, Javier, San Andrés Serrano, Enrique, García Hernansanz, Rodrigo, Prado Millán, Álvaro Del, Martil De La Plaza, Ignacio, Pastor Pastor, David, García Hemme, Eric
Tipo de recurso: artículo
Fecha de publicación:2024
País:España
Institución:Universidad Complutense de Madrid (UCM)
Repositorio:Docta Complutense
Idioma:inglés
OAI Identifier:oai:docta.ucm.es:20.500.14352/110956
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.14352/110956
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:538.9
Física del estado sólido
2211 Física del Estado Sólido

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