Effects of N2 Plasma Pretreatment on the SiN Passivation of AlGaN/GaN HEMT

Detalles Bibliográficos
Autores: Romero Rojo, Fátima|||0000-0002-3940-8009, Jiménez, A., Sánchez, José M., Braña, A.F., González-Posada Flores, Fernando, Cuerdo Bragado, Roberto, Calle Gómez, Fernando|||0000-0001-7869-6704, Muñoz Merino, Elias|||0000-0001-7482-2590
Tipo de recurso: artículo
Fecha de publicación:2008
País:España
Institución:Universidad Politécnica de Madrid
Repositorio:Archivo Digital UPM
OAI Identifier:oai:oa.upm.es:2020
Acceso en línea:https://oa.upm.es/2020/
Access Level:acceso abierto
Descripción
Descripción no disponible.