Wide Bandgap Semiconductors for MEMS and Related Process Technologies

Vegeu mpresum1de1.pdf

Detalles Bibliográficos
Autor: Placidi, Marcel
Tipo de recurso: tesis doctoral
Estado:Versión publicada
Fecha de publicación:2010
País:España
Institución:CBUC, CESCA
Repositorio:TDR. Tesis Doctorales en Red
OAI Identifier:oai:www.tdx.cat:10803/42300
Acceso en línea:http://hdl.handle.net/10803/42300
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Semiconductor
MEMS
Resonator
Tecnologies
621.3
id ES_9def79b3fc8abcc3370bd10b256e73de
oai_identifier_str oai:www.tdx.cat:10803/42300
network_acronym_str ES
network_name_str España
repository_id_str
spelling Wide Bandgap Semiconductors for MEMS and Related Process TechnologiesPlacidi, MarcelSemiconductorMEMSResonatorTecnologies621.3Vegeu mpresum1de1.pdfUniversitat Autònoma de BarcelonaGodignon, PhilippeFlores Gual, DavidUniversitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica201120112010info:eu-repo/semantics/doctoralThesisinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion206 p.application/pdfapplication/pdfapplication/pdfhttp://hdl.handle.net/10803/42300TDX (Tesis Doctorals en Xarxa)reponame:TDR. Tesis Doctorales en Redinstname:CBUC, CESCAInglésADVERTIMENT. L'accés als continguts d'aquesta tesi doctoral i la seva utilització ha de respectar els drets de la persona autora. Pot ser utilitzada per a consulta o estudi personal, així com en activitats o materials d'investigació i docència en els termes establerts a l'art. 32 del Text Refós de la Llei de Propietat Intel·lectual (RDL 1/1996). Per altres utilitzacions es requereix l'autorització prèvia i expressa de la persona autora. En qualsevol cas, en la utilització dels seus continguts caldrà indicar de forma clara el nom i cognoms de la persona autora i el títol de la tesi doctoral. No s'autoritza la seva reproducció o altres formes d'explotació efectuades amb finalitats de lucre ni la seva comunicació pública des d'un lloc aliè al servei TDX. Tampoc s'autoritza la presentació del seu contingut en una finestra o marc aliè a TDX (framing). Aquesta reserva de drets afecta tant als continguts de la tesi com als seus resums i índexs.info:eu-repo/semantics/openAccessoai:www.tdx.cat:10803/423002026-06-14T12:46:07Z
dc.title.none.fl_str_mv Wide Bandgap Semiconductors for MEMS and Related Process Technologies
title Wide Bandgap Semiconductors for MEMS and Related Process Technologies
spellingShingle Wide Bandgap Semiconductors for MEMS and Related Process Technologies
Placidi, Marcel
Semiconductor
MEMS
Resonator
Tecnologies
621.3
title_short Wide Bandgap Semiconductors for MEMS and Related Process Technologies
title_full Wide Bandgap Semiconductors for MEMS and Related Process Technologies
title_fullStr Wide Bandgap Semiconductors for MEMS and Related Process Technologies
title_full_unstemmed Wide Bandgap Semiconductors for MEMS and Related Process Technologies
title_sort Wide Bandgap Semiconductors for MEMS and Related Process Technologies
dc.creator.none.fl_str_mv Placidi, Marcel
author Placidi, Marcel
author_facet Placidi, Marcel
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Godignon, Philippe
Flores Gual, David
Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica
dc.subject.none.fl_str_mv Semiconductor
MEMS
Resonator
Tecnologies
621.3
topic Semiconductor
MEMS
Resonator
Tecnologies
621.3
description Vegeu mpresum1de1.pdf
publishDate 2010
dc.date.none.fl_str_mv 2010
2011
2011
dc.type.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
format doctoralThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.none.fl_str_mv http://hdl.handle.net/10803/42300
url http://hdl.handle.net/10803/42300
dc.language.none.fl_str_mv Inglés
language_invalid_str_mv Inglés
dc.rights.none.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv 206 p.
application/pdf
application/pdf
application/pdf
dc.publisher.none.fl_str_mv Universitat Autònoma de Barcelona
publisher.none.fl_str_mv Universitat Autònoma de Barcelona
dc.source.none.fl_str_mv TDX (Tesis Doctorals en Xarxa)
reponame:TDR. Tesis Doctorales en Red
instname:CBUC, CESCA
instname_str CBUC, CESCA
reponame_str TDR. Tesis Doctorales en Red
collection TDR. Tesis Doctorales en Red
repository.name.fl_str_mv
repository.mail.fl_str_mv
_version_ 1869414784415301632
score 15.301603

Similares en LA Referencia