Wide Bandgap Semiconductors for MEMS and Related Process Technologies
Vegeu mpresum1de1.pdf
| Autor: | |
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| Tipo de recurso: | tesis doctoral |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2010 |
| País: | España |
| Institución: | CBUC, CESCA |
| Repositorio: | TDR. Tesis Doctorales en Red |
| OAI Identifier: | oai:www.tdx.cat:10803/42300 |
| Acceso en línea: | http://hdl.handle.net/10803/42300 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Semiconductor MEMS Resonator Tecnologies 621.3 |
| Sumario: | Vegeu mpresum1de1.pdf |
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