Efficient and stable activation by microwave annealing of nanosheet silicon doped with phosphorus above its solubility limit

Producción Científica

Detalles Bibliográficos
Autores: Tsai, Chun-Hsiung, Savant, Chandrashekhar P., Asadi, Mohammad Javad, Lin, Yu-Ming, Santos Tejido, Iván, Hsu, Yu-Hsiang, Kowalski, Jeffrey, Pelaz Montes, María Lourdes, Woon, Wei-Yen, Lee, Chih-Kung, Hwang, James C. M.
Tipo de recurso: artículo
Estado:Versión publicada
Fecha de publicación:2022
País:España
Institución:Universidad de Valladolid
Repositorio:UVaDOC. Repositorio Documental de la Universidad de Valladolid
OAI Identifier:oai:uvadoc.uva.es:10324/54389
Acceso en línea:https://doi.org/10.1063/5.0099083
https://uvadoc.uva.es/handle/10324/54389
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Nanoláminas de silicio
Silicon nanosheets
2203 Electrónica
Descripción
Sumario:Producción Científica