Caracterización de dispositivos de lámina delgada mediante microscopía óptica, electrónica de barrido y microanálisis

En este trabajo se presentan los resultados de la aplicación de las técnicas de microscopía óptica y electrónica de barrido (SEM), así como de microanálisis para la caracterización de dispositivos optoelectrónicos de lámina delgada.

Detalles Bibliográficos
Autores: Bermúdez Olivares, María Dolores, Vázquez, G.
Tipo de recurso: artículo
Fecha de publicación:2006
País:España
Institución:Universidad Politécnica de Cartagena(UPCT)
Repositorio:Repositorio Digital UPCT
OAI Identifier:oai:repositorio.upct.es:10317/392
Acceso en línea:http://hdl.handle.net/10317/392
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Microscopía óptica
Electrónica de barrido
Microanálisis
Ciencia de los Materiales e Ingeniería Metalúrgica
Descripción
Sumario:En este trabajo se presentan los resultados de la aplicación de las técnicas de microscopía óptica y electrónica de barrido (SEM), así como de microanálisis para la caracterización de dispositivos optoelectrónicos de lámina delgada.