Modelo dinámico de incorporación de oxígeno incidente sobre sustratos de silicio durante análisis de espectrometría de masas de iones secundarios

Detalles Bibliográficos
Autor: Guzmán de la Mata, Berta
Tipo de recurso: tesis doctoral
Fecha de publicación:2002
País:España
Institución:Universidad Politécnica de Madrid
Repositorio:Archivo Digital UPM
OAI Identifier:oai:oa.upm.es:830
Acceso en línea:https://oa.upm.es/830/
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Palabra clave:APARATOS CIENTIFICOS
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