Wide Bandgap Semiconductors for MEMS and Related Process Technologies
Vegeu mpresum1de1.pdf
| Autores: | , |
|---|---|
| Formato: | tesis doctoral |
| Fecha de publicación: | 2011 |
| País: | España |
| Recursos: | Universitat Autònoma de Barcelona |
| Repositorio: | Dipòsit Digital de Documents de la UAB |
| Idioma: | inglés |
| OAI Identifier: | oai:ddd.uab.cat:127254 |
| Acesso em linha: | https://ddd.uab.cat/record/127254 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palavra-chave: | Semiconductor MEMS Resonator |
| Resumo: | Vegeu mpresum1de1.pdf |
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