Advanced Strategies in Thin Films Engineering by Magnetron Sputtering
© 2020 by the authors.
| Autores: | , |
|---|---|
| Tipo de recurso: | artículo |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2020 |
| País: | España |
| Institución: | Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC) |
| Repositorio: | DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC |
| OAI Identifier: | oai:digital.csic.es:10261/209447 |
| Acceso en línea: | http://hdl.handle.net/10261/209447 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Magnetron sputtering Nanostructures Growth mechanisms Functional properties HiPIMS Oblique angle deposition |
| Sumario: | © 2020 by the authors. |
|---|