Silicon nanowire growth technologies for nanomechanical devices

Nanohilos de silicio obtenidos mediante el mecanismo de vapor-liquido-solido (VLS) ofrecen extraordinarias propiedades para aplicaciones en dispositivos nanomecánicos. Su calidad estructural (baja densidad de defectos, superficie lisa) y sus propiedades mecánicas únicas (auto-ensamblado robusto, alt...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autor: Fernández Regúlez, Marta
Tipo de recurso: tesis doctoral
Fecha de publicación:2012
País:España
Institución:Universitat Autònoma de Barcelona
Repositorio:Dipòsit Digital de Documents de la UAB
Idioma:inglés
OAI Identifier:oai:ddd.uab.cat:106208
Acceso en línea:https://ddd.uab.cat/record/106208
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Nanofils
Nanotecnologia
id ES_0e6004e405e1ffb5f8a00770c9081b21
oai_identifier_str oai:ddd.uab.cat:106208
network_acronym_str ES
network_name_str España
repository_id_str
dc.title.none.fl_str_mv Silicon nanowire growth technologies for nanomechanical devices
title Silicon nanowire growth technologies for nanomechanical devices
spellingShingle Silicon nanowire growth technologies for nanomechanical devices
Fernández Regúlez, Marta
Nanofils
Nanotecnologia
title_short Silicon nanowire growth technologies for nanomechanical devices
title_full Silicon nanowire growth technologies for nanomechanical devices
title_fullStr Silicon nanowire growth technologies for nanomechanical devices
title_full_unstemmed Silicon nanowire growth technologies for nanomechanical devices
title_sort Silicon nanowire growth technologies for nanomechanical devices
dc.creator.none.fl_str_mv Fernández Regúlez, Marta
author Fernández Regúlez, Marta
author_facet Fernández Regúlez, Marta
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Universitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria Electrònica
San Paulo, Álvaro
dc.subject.none.fl_str_mv Nanofils
Nanotecnologia
topic Nanofils
Nanotecnologia
description Nanohilos de silicio obtenidos mediante el mecanismo de vapor-liquido-solido (VLS) ofrecen extraordinarias propiedades para aplicaciones en dispositivos nanomecánicos. Su calidad estructural (baja densidad de defectos, superficie lisa) y sus propiedades mecánicas únicas (auto-ensamblado robusto, alta rigidez y piezoresistencia gigante) junto con, recientes progresos en el control del crecimiento, prometen permitir un funcionamiento sin precedentes para una gran variedad de sistemas. Sin embargo, la fabricación generalmente está limitada a prototipos y más esfuerzos para conseguir un control simultáneo de las propiedades de los nanohilos y la posición son necesarios. Esta tesis ha sido centrada en el desarrollo de tecnologías de fabricación con alto rendimiento/ a gran escala de dispositivos basados en nanohilos de silicio que exploten sus propiedades excepcionales. Tecnologías de fabricación para el crecimiento selectivo de matrices de nanohilos de silicio y de nanohilos individuales en dispositivos funcionales han sido desarrolladas y posteriormente adaptadas para la fabricación de diversos dispositivos basados en nanohilos. En particular, el diseño, la fabricación y la caracterización de un cantilever piezoresistivo en el que el elemento de sensado está compuesto por una matriz de nanohilos ha sido demostrado. Los coeficientes piezoresistivos gigantes característicos de los nanohilos de Silicio se trasladan en un incremento en la sensibilidad mecánica comparada con dispositivos basados en silicio volumétrico. Por otro lado, se ha realizado la fabricación de resonadores nanomecánicos basados en nanohilos individuales. La caracterización de estos dispositivos demostró que los nanhilos individuales son excepcionales plataformas para el desarrollo de sensores de masa ultra sensibles y para el estudio de propiedades fundamentales de estructuras nanomecánicas.
publishDate 2012
dc.date.none.fl_str_mv 2
2012-01-01
2012
2012-01-01
dc.type.none.fl_str_mv Tesi doctoral
http://purl.org/coar/resource_type/c_db06
VoR
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
dc.type.openaire.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
format doctoralThesis
dc.identifier.none.fl_str_mv https://ddd.uab.cat/record/106208
url https://ddd.uab.cat/record/106208
dc.language.none.fl_str_mv Inglés
eng
language_invalid_str_mv Inglés
language eng
dc.rights.none.fl_str_mv open access
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
https://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/
dc.rights.openaire.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
rights_invalid_str_mv open access
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
https://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
dc.publisher.none.fl_str_mv Universitat Autònoma de Barcelona
publisher.none.fl_str_mv Universitat Autònoma de Barcelona
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Dipòsit Digital de Documents de la UAB
instname:Universitat Autònoma de Barcelona
instname_str Universitat Autònoma de Barcelona
reponame_str Dipòsit Digital de Documents de la UAB
collection Dipòsit Digital de Documents de la UAB
repository.name.fl_str_mv
repository.mail.fl_str_mv
_version_ 1869403393508769792
spelling Silicon nanowire growth technologies for nanomechanical devicesFernández Regúlez, MartaNanofilsNanotecnologiaNanohilos de silicio obtenidos mediante el mecanismo de vapor-liquido-solido (VLS) ofrecen extraordinarias propiedades para aplicaciones en dispositivos nanomecánicos. Su calidad estructural (baja densidad de defectos, superficie lisa) y sus propiedades mecánicas únicas (auto-ensamblado robusto, alta rigidez y piezoresistencia gigante) junto con, recientes progresos en el control del crecimiento, prometen permitir un funcionamiento sin precedentes para una gran variedad de sistemas. Sin embargo, la fabricación generalmente está limitada a prototipos y más esfuerzos para conseguir un control simultáneo de las propiedades de los nanohilos y la posición son necesarios. Esta tesis ha sido centrada en el desarrollo de tecnologías de fabricación con alto rendimiento/ a gran escala de dispositivos basados en nanohilos de silicio que exploten sus propiedades excepcionales. Tecnologías de fabricación para el crecimiento selectivo de matrices de nanohilos de silicio y de nanohilos individuales en dispositivos funcionales han sido desarrolladas y posteriormente adaptadas para la fabricación de diversos dispositivos basados en nanohilos. En particular, el diseño, la fabricación y la caracterización de un cantilever piezoresistivo en el que el elemento de sensado está compuesto por una matriz de nanohilos ha sido demostrado. Los coeficientes piezoresistivos gigantes característicos de los nanohilos de Silicio se trasladan en un incremento en la sensibilidad mecánica comparada con dispositivos basados en silicio volumétrico. Por otro lado, se ha realizado la fabricación de resonadores nanomecánicos basados en nanohilos individuales. La caracterización de estos dispositivos demostró que los nanhilos individuales son excepcionales plataformas para el desarrollo de sensores de masa ultra sensibles y para el estudio de propiedades fundamentales de estructuras nanomecánicas.Silicon nanowires obtained via vapor-liquid-solid (VLS) mechanism offer many extraordinary properties for applications in nanomechanical devices. Their structural quality (low defect density, surface flatness) and unique mechanical properties (robust self-assembly, high stiffness, giant piezoresistance) together with, recent advances in growth control, promise to allow unprecedented performance of wide variety of systems. However, device fabrication is generally limited to prototype fabrication and more efforts to achieve simultaneous control of nanowire properties and location are needed. This thesis has been focused towards the development of high yield/ large scale fabrication technologies based on catalyst grown Si nanowire to realize devices that exploit their exceptional properties. Fabrication technologies for the selective growth of silicon nanowire arrays and single nanowire on functional devices have been developed and posteriorly adapted for the fabrication of several nanowire based devices. In particular, the design, fabrication and characterization of a piezoresistive cantilever in which the active sensor is composed of an horizontal Si nanowire array has been demonstrated. Giant piezoresistance coefficients characteristics of Si nanowires are translated into an increment in the cantilever mechanical sensitivity compared with similar bulk devices. On the other hand, the fabrication of nanomechanical resonators based on single nanowires for mass sensing applications with different transduction mechanims has been performed. The characterization of these devices proved that single nanowires are exceptional platforms to develop ultra-high sensitive mass sensors and to study fundamental properties of nanomechanical structures.Universitat Autònoma de BarcelonaUniversitat Autònoma de Barcelona. Departament d'Enginyeria ElectrònicaSan Paulo, Álvaro 22012-01-0120122012-01-01Tesi doctoralhttp://purl.org/coar/resource_type/c_db06VoRhttp://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85info:eu-repo/semantics/doctoralThesisapplication/pdfhttps://ddd.uab.cat/record/106208reponame:Dipòsit Digital de Documents de la UABinstname:Universitat Autònoma de BarcelonaInglésengopen accesshttp://purl.org/coar/access_right/c_abf2Aquest material està protegit per drets d'autor i/o drets afins. Podeu utilitzar aquest material en funció del que permet la legislació de drets d'autor i drets afins d'aplicació al vostre cas. Per a d'altres usos heu d'obtenir permís del(s) titular(s) de drets.https://rightsstatements.org/vocab/InC/1.0/info:eu-repo/semantics/openAccessoai:ddd.uab.cat:1062082026-06-06T12:50:31Z
score 15.300724

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