Estruturas eletricas para avaliação de parametros litograficos em um processo defabricação de circuitos integrados
Orientadores: Furio Damiani, Curt Ego Hennies
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| Tipo de recurso: | tesis de maestría |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 1990 |
| País: | Brasil |
| Institución: | Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
| Repositorio: | Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) |
| Idioma: | portugués |
| OAI Identifier: | oai::36004 |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.12733/1575860 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Circuitos integrados Litografia |
| Sumario: | Orientadores: Furio Damiani, Curt Ego Hennies |
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