Otimização de parâmetros no processo de pulverização catódica "Sputtering" em substrato particulado
| Author: | |
|---|---|
| Format: | doctoral thesis |
| Status: | Published version |
| Publication Date: | 2023 |
| Country: | Brasil |
| Institution: | Pontifícia Universidade Católica do Rio Grande do Sul (PUCRS) |
| Repository: | Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da PUC_RS |
| Language: | Portuguese |
| OAI Identifier: | oai:tede2.pucrs.br:tede/11071 |
| Online Access: | https://tede2.pucrs.br/tede2/handle/tede/11071 |
| Access Level: | Open access |
| Keyword: | Sputtering Semicondutor Pó Nanopartículas de Ouro Semiconductor Powder Gold Nanoparticles ENGENHARIAS |
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