Sinterização de filmes finos de LiNbO3 em forno microondas: estudo da influência da direção do fluxo de calor
Filmes finos de LiNbO3 foram preparados pelo método dos precursores poliméricos e depositados por spin coating sobre substratos de safira (0001). Os filmes foram tratados em forno microondas doméstico a 400 ºC por 15 e 20 min. Um material com alta perda dielétrica (susceptor de SiC) foi usado para a...
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| Tipo de recurso: | artículo |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2004 |
| País: | Brasil |
| Institución: | Universidade Estadual Paulista (UNESP) |
| Repositorio: | Repositório Institucional da UNESP |
| Idioma: | portugués |
| OAI Identifier: | oai:repositorio.unesp.br:11449/30010 |
| Acceso en línea: | http://dx.doi.org/10.1590/S0366-69132004000200009 http://hdl.handle.net/11449/30010 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | filmes finos LiNbO3 microondas SiC epitaxia thin films microwave epitaxy |
| Sumario: | Filmes finos de LiNbO3 foram preparados pelo método dos precursores poliméricos e depositados por spin coating sobre substratos de safira (0001). Os filmes foram tratados em forno microondas doméstico a 400 ºC por 15 e 20 min. Um material com alta perda dielétrica (susceptor de SiC) foi usado para absorver energia das microondas e transformá-la em calor. Este calor foi transferido para o filme a fim de promover a sua cristalização. O susceptor foi posicionado acima do filme ou embaixo do substrato. Desta forma, a influência da direção do fluxo de calor na cristalização das amostras foi verificada. Os filmes foram caracterizados por difração de raios X, microscopia de força atômica e espectrofotometria (transmitância) na região UV-visível e o índice de refração foi determinado por elipsometria. O crescimento epitaxial foi observado para o filme com susceptor posicionado embaixo do substrato. Verificou-se que os grãos apresentaram crescimento aleatório quando o susceptor foi posicionado acima do filme. Os filmes apresentaram-se relativamente densos, homogêneos e lisos, com boas propriedades ópticas. |
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