Estudio de guías de onda angostas por multi-implantación de iones de plata
En este trabajo se presenta el estudio de guías de onda de canal por multi-implantación de iones de plata con perfil de índice tipo escalón en sustratos de SiO2. El estudio comprende el diseño, fabricación y caracterización de guías de onda rectas, curvas-S y curvas-C. La etapa de diseño, está basad...
| Autor: | |
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| Formato: | tesis de maestría |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2016 |
| País: | México |
| Recursos: | Centro de Investigación Científica y de Educación Superior de Ensenada |
| Repositorio: | Repositorio Institucional CICESE |
| Idioma: | español |
| OAI Identifier: | oai:cicese.repositorioinstitucional.mx:1007/590 |
| Acesso em linha: | http://cicese.repositorioinstitucional.mx/jspui/handle/1007/590 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palavra-chave: | info:eu-repo/classification/Autor/Óptica info:eu-repo/classification/cti/1 info:eu-repo/classification/cti/22 info:eu-repo/classification/cti/2209 |
| Resumo: | En este trabajo se presenta el estudio de guías de onda de canal por multi-implantación de iones de plata con perfil de índice tipo escalón en sustratos de SiO2. El estudio comprende el diseño, fabricación y caracterización de guías de onda rectas, curvas-S y curvas-C. La etapa de diseño, está basada en un algoritmo del método de propagación de haz para circuitos de óptica integrada, BeamProp-Rsoft, y se consideró: guías de onda monomodo, con alto confinamiento óptico y pérdidas por propagación bajas, para longitudes de onda en el visible 633nm y para las líneas de comunicaciones ópticas de 1550nm. La fabricación de las guías de onda con un perfil de índice escalón fue realizada mediante el proceso de multi-implantación de iones de plata en sustratos de SiO2. Finalmente la caracterización de las guías de onda comprendió inspección por microscopía óptica, metrología dimensional, análisis de pérdidas de propagación y análisis de distribución de intensidad de los modos de propagación para longitudes de onda de 1310nm y 1550nm. |
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