Sensor de gas basado en películas delgadas de óxido de hafnio preparadas por rocío pirolitico

Sensor de gas basado en películas delgadas de óxido de hafnio preparadas por rocío pirolitico

Bibliographic Details
Authors: Dominguez Dominguez, R., Guzman Mendoza, J., Aguilar Frutis, M. A.
Format: article
Status:Published version
Publication Date:2008
Country:México
Institution:Instituto Politécnico Nacional
Repository:Repositorio Digital del IPN
OAI Identifier:oai:www.repositoriodigital.ipn.mx:123456789/10871
Online Access:http://hdl.handle.net/123456789/378
http://www.repositoriodigital.ipn.mx/handle/123456789/10871
Access Level:Open access
Keyword:Peliculas delgadas
Oxido de Hafnio
Description
Summary:Sensor de gas basado en películas delgadas de óxido de hafnio preparadas por rocío pirolitico