Diseño de micro y macro espejos de actuación electrostática
En este trabajo se presenta el diseño de micro y macro espejos de actuación electrostática. Debido a la complejidad de los fenómenos que intervienen en el dispositivo, en este capítulo se presta especial atención al diseño de los actuadores electrostáticos tanto micro como macroscópicos, y se deja c...
| Autores: | , |
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| Formato: | capítulo de livro |
| Estado: | Versión publicada |
| Fecha de publicación: | 2014 |
| País: | México |
| Recursos: | Instituto Tecnológico y de Estudios Superiores de Occidente |
| Repositorio: | Repositorio Institucional del ITESO |
| Idioma: | español |
| OAI Identifier: | oai:rei.iteso.mx:11117/3236 |
| Acesso em linha: | http://hdl.handle.net/11117/3236 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palavra-chave: | Microsistemas Espejos Fuerza Electrostática MEMS Micro Actuador Electrostático |
| Resumo: | En este trabajo se presenta el diseño de micro y macro espejos de actuación electrostática. Debido a la complejidad de los fenómenos que intervienen en el dispositivo, en este capítulo se presta especial atención al diseño de los actuadores electrostáticos tanto micro como macroscópicos, y se deja como trabajo futuro el análisis de las propiedades ópticas de los dispositivos aquí descritos. Las dimensiones del microespejo se encuentran en el rango de los micrómetros, mientras que las del macroespejo se encuentran en el rango de los milímetros. Existe un factor de escalamiento de 1:250 entre las dimensiones de los espejos que se espera incida en este mismo orden de magnitud en los fenómenos electromecánicos en la micro y macro escala. Se detalla el diseño electro-mecánico y se explica su principio de funcionamiento. Se proporcionan modelos matemáticos y simulaciones numéricas que predicen el comportamiento de los principales elementos electromecánicos de los espejos. Se discuten las implicaciones en el mecanismo de actuación como resultado del escalamiento en las dimensiones. |
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