Thermal shields for heat loss reduction in Siemens-type CVD reactors
| Autores: | , , , |
|---|---|
| Tipo de recurso: | artículo |
| Fecha de publicación: | 2016 |
| País: | España |
| Institución: | Universidad Politécnica de Madrid |
| Repositorio: | Archivo Digital UPM |
| OAI Identifier: | oai:oa.upm.es:38994 |
| Acceso en línea: | https://oa.upm.es/38994/ |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | CVD reactors Siemens process Radiation heat loss Polysilicon Solar Grade Silicon |
| Descripción no disponible. |