ImageJ measurement of feature sizes from XTEM and SEM images; comprehensive error analysis and statistical evaluations of the experimental data are provided; additional information on results obtained using XPS, GISAXS, and ellipsometry; discussion on VPP control variables and potential applications...
Detalles Bibliográficos
| Autores: |
Mullen, Eleanor,
Alvarez-Fernandez, Alberto,
Prochukhan, Nadezda,
Davó-Quiñonero, Arantxa,
Bekarevich, Raman,
Gity, Farzan,
Sheehan, Brendan,
Baez Vasquez, Jhonattan Frank,
Gatensby, Riley,
Bentaleb, Ahmed,
Ward, Alan,
Hurley, Paul K.,
Morris, Michael A. |
| Tipo de recurso: | conjunto de datos
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| Fecha de publicación: | 2025 |
| País: | España |
| Institución: | Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC) |
| Repositorio: | DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC |
| OAI Identifier: | oai:digital.csic.es:10261/388671 |
| Acceso en línea: | http://hdl.handle.net/10261/388671
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| Access Level: | acceso abierto |