Ion energy distributions for the identification of active species and processes in low pressure hollow cathode discharges
9 pages, 9 figures.-- PACS nrs.: 51.50.+v, 52.20.Hv, 52.25.Jm, 52.40.Kh, 82.33.Xj.-- Printed version published Aug 2009.
| Autores: | , |
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| Tipo de recurso: | artículo |
| Fecha de publicación: | 2009 |
| País: | España |
| Institución: | Consejo Superior de Investigaciones Científicas (CSIC) |
| Repositorio: | DIGITAL.CSIC. Repositorio Institucional del CSIC |
| OAI Identifier: | oai:digital.csic.es:10261/12406 |
| Acceso en línea: | http://hdl.handle.net/10261/12406 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Ion energy distribution Plasma sheath DC discharge Hollow cathode discharge Ion kinetics Ion collisions Ar, H2, N2, O2 and CH4 plasmas |
| Sumario: | 9 pages, 9 figures.-- PACS nrs.: 51.50.+v, 52.20.Hv, 52.25.Jm, 52.40.Kh, 82.33.Xj.-- Printed version published Aug 2009. |
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