Design optimization and fabrication of a novel structural piezoresistive pressure sensor for micro-pressure measurement
| Autores: | , , |
|---|---|
| Tipo de recurso: | artículo |
| Fecha de publicación: | 2018 |
| País: | España |
| Institución: | Universidad Politécnica de Madrid |
| Repositorio: | Archivo Digital UPM |
| OAI Identifier: | oai:oa.upm.es:49811 |
| Acceso en línea: | https://oa.upm.es/49811/ |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | MEMS piezoresistive pressure sensor Four-beams-bossed-membrane Finite element analysis Sensitivity Pressure nonlinearity |
| Descripción no disponible. |