Contribución al estudio de la oxidación térmica del silicio y su aplicación a la microelectrónica

Detalles Bibliográficos
Autor: Lora-Tamayo D'Ocon, Amelia
Tipo de recurso: tesis doctoral
Fecha de publicación:2015
País:España
Institución:Universidad Complutense de Madrid (UCM)
Repositorio:Docta Complutense
Idioma:español
OAI Identifier:oai:docta.ucm.es:20.500.14352/40663
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.14352/40663
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:537+621.38
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Física (Física)
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