Optimisation de l'implantation ionique et du recuit thermique pour SiC
| Autor: | |
|---|---|
| Tipo de recurso: | tesis doctoral |
| Fecha de publicación: | 2005 |
| País: | España |
| Institución: | Universitat Autònoma de Barcelona |
| Repositorio: | Dipòsit Digital de Documents de la UAB |
| Idioma: | francés |
| OAI Identifier: | oai:ddd.uab.cat:37072 |
| Acceso en línea: | https://ddd.uab.cat/record/37072 |
| Access Level: | acceso abierto |
| Palabra clave: | Ions Carbur de silici |
| Descripción no disponible. |