Efectos del sputtering en los perfiles de concentración obtenidos por AES y ESCA en películas anódicas

Tesis Doctoral inédita leída en la Universidad Autónoma de Madrid, Facultad de Ciencias, División de Física, Fecha de lectura 09-07-1982

Detalles Bibliográficos
Autor: Sanz Martínez, José María
Tipo de recurso: tesis doctoral
Fecha de publicación:1982
País:España
Institución:Universidad Autónoma de Madrid
Repositorio:Biblos-e Archivo. Repositorio Institucional de la UAM
Idioma:español
OAI Identifier:oai:repositorio.uam.es:10486/2304
Acceso en línea:http://hdl.handle.net/10486/2304
Access Level:acceso abierto
Palabra clave:Física
Bombardeo iónico - Tesis doctorales
Láminas delgadas - Tesis doctorales
Descripción
Sumario:Tesis Doctoral inédita leída en la Universidad Autónoma de Madrid, Facultad de Ciencias, División de Física, Fecha de lectura 09-07-1982